高機能材料部門の中核である日立化成工業、日立金属、日立電線の3子社は御三家とよばれ筆頭家老は日立金属とされている。この3社は 日立製作所の事業部門が独立した形で設立されており、子会社ではあるが独立性が高い。現在、好調な業績を記録しており、2006年3月期決算ではこの部門は26%の増収となった。

日立化成工業では、ディスプレイ用回路接続フィルム、半導体ウエハー研磨剤、自動車関連製品を生産している。日立金属では液晶ディスプレイ用品、携帯電話向けアイソレータ、特殊鋼系鉄鋼材料新素材、日立電線でも半導体パッケージ材料が業績に寄与しており、他の部門で最終消費財が不調であるのと対照的になっている。

売上高に占める比率は15%、5万4,687名の従業員を抱える。