1987年11月30日に筑波郡谷田部町、大穂町、豊里町、新治郡桜村の4町村が新設合併し、人口約11万人のつくば市が誕生。むつ市、いわき市、えびの市に次ぐ全国で4番目のひらがな表記の市であり、合併当時、桜村は人口4万人超で、単独市制は不可能であったものの、日本で一番人口の多い村であった。

• 1988年1月31日：筑波郡筑波町を編入。
• 2002年11月1日：稲敷郡茎崎町を編入。
• 2005年8月24日：首都圏新都市鉄道つくばエクスプレスが開業。
• 2005年10月：国勢調査で人口が20万人を突破。日立市を抜き水戸市に次いで人口では県内第2の都市に。
• 2007年4月1日：特例市に移行。