701年（大宝元）に官位制に切り替わる間に冠位制は何度か改訂が行われている。

最初の大幅な改訂は、647年（大化3）の冠位十三階である。 649年（大化5年）冠位十九階に改められている（冠位十九階は、冠位十三階を基本とし、中間の冠位を細かく分けたものである。

664年（天智3）には更に細分化された、冠位二十六階に改訂されている。これらは、冠位十二階に組み込まれなかった大臣（おおおみ）などを冠位制の序列に組み込もうとした試みだと考えられる。しかしながら大臣は依然として旧冠を使用していたと言われている。

685年（天武14）諸王以上十二階、諸臣四十八階が導入されている。 親王や諸王も冠位制の中に組み込んだ。

701年（大宝元）に、冠位制は廃止され、律令官位制に移行している。基本となっているのは冠位四十八階であるが、名称を正一位、従三位などとわかりやすく改訂し、四十八階を三十階に減らしている。