オゾンには急性・慢性双方の中毒性がある。

急性中毒では目や呼吸器への刺激から始まり、高濃度になるに連れて咳やめまいを引き起こし、さらに高濃度になると呼吸困難や麻痺、それによる昏睡状態になり、放置しておけば死亡する。 慢性中毒では倦怠感や神経過敏など神経の異常や、呼吸器の異常を引き起こす。

オゾンを発生させる可能性のある場ではたとえ低濃度であろうと活性炭入りのマスクをつけることが望まれるが、目の粘膜も保護できる全面マスクの使用がより好ましい。より高濃度（10ppm以上）の場合はガスマスクの使用が必須になる。<ref>オゾン利用に関する安全管理規準</ref>