一般に空気に紫外線を照射したり、酸素中で無声放電を行うなど、高いエネルギーを持つ電子と酸素分子の衝突によって発生する。オゾンの発生は主に以下の化学式で表せる。

<math>\rm \, 3O_2 \longrightarrow 2O_3</math>

またオゾンは不安定な分子であるため、放置しておくと以下の化学式で酸素に変化する。

<math>\rm \, 2O_3 \longrightarrow 3O_2</math>

この反応は温度や圧力が上昇するほど速くなる。

いくつかの電気機器は人間が臭いを感じる程度のオゾンを発生させる。特にブラウン管テレビやコピー機など高電圧を用いる装置で起こる。ブラシによって整流する電気モーターは機器内で繰り返される火花によってオゾンを発生させる。エレベーターやポンプなどに使われる大型モータは小さいモータよりもオゾン発生量が多い。なお、これは整流子電動機特有の現象で、整流子のない誘導電動機・同期電動機ではオゾンは発生しない。